Cad iad na cineálacha scannán miotail is féidir a fháil sa phróiseas PVD maidir le feadáin téimh leictreach leictreaphlátála i bhfolús?

Cad iad na cineálacha scannán miotail is féidir a fháil sa phróiseas PVD maidir le feadáin téimh leictreach leictreaphlátála i bhfolús?

 

Alúmanam (AL), Tíotáiniam (Ti), Nítríde Tíotáiniam (TiN), Cóbalt (Co).

 

Go ginearálta, nuair a théann an wafer isteach sa mheaisín PVD, ní mór é a bheith plátáilte le nítríde tíotáiniam / nítríde tíotáiniam / alúmanam / tíotáiniam / nítríd tíotáiniam. Cúig sraitheanna de mhiotal.

 

Is é feidhm cóbalt ná silicíd miotail (sileacáit).

Cad é prionsabal an phróisis PVD maidir le feadán téimh leictreach leictreaphlátála i bhfolús?

 

 

Cuirtear leis difríocht poitéinsil ard idir an Sprioc agus an sliseog. Ag an am seo, díscaoileann an gás próiseas Ar isteach i Ar móide faoin difríocht ardacmhainneachta, agus toisc go bhfuil Ar plus á mhuirearú agus á mhealladh go dearfach ag an réimse leictrigh, imbhuaileann sé leis an Sprioc, rud a fhágann go dtáirgtear an sprioc gráin miotail a thiteann mar gheall ar dhomhantarraingt. . Chun an wafer chun scannán a fhoirmiú. Is é an próiseas seo PVD.

Cad é an sprioc atá ag feadán téimh leictreach leictreaphlátála i bhfolús?

 

I PVD, is é an sprioc ábhar miotail a úsáidtear chun scannán a sholáthar.

Bunphrionsabal an fheadáin téimh leictreach leictreaphlátála i bhfolús sprioc sciath PVD

 

Is féidir bunphrionsabal na teicneolaíochta sil-leagan fisiceach gaile a roinnt ina thrí chéim phróiseála:

 

(1) vaporization an ábhair sciath, is é sin, galú an ábhair sciath, nach bhfuil cosúil le sputtering.

 

(2) Aistriú adamh, móilíní nó iain leictreaphlátála: Tarlaíonn imoibrithe éagsúla tar éis imbhualadh adaimh, móilíní nó iain.

 

(3) Déantar adaimh leictreaphlátála, móilíní nó iain a thaisceadh ar an tsubstráit.

Feadán téimh leictreach leictreaphlátála i bhfolús Sprioc sciath PVD?

 

Is teicneolaíocht ullmhúcháin scannán tanaí é taisceadh gaile fisiceach (PVD) a ghalaíonn dromchla sprice go fisiciúil ina adaimh ghásacha, ina mhóilíní nó ina gcodanna atá ianaithe ina hiain faoi choinníollacha folúis. Déantar an scannán feidhmiúil a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit. I measc na bpríomh-mhodhanna a bhaineann le sil-leagan fisiceach gaile tá galú bhfolús, sil-leagan sputtering, plating plasma stua, plating ian, etc. Tá luas taisce scannáin PVD tapa, greamaitheacht láidir, díraonadh maith, agus raon leathan feidhmchlár.

www.superbheater.com