Miniaturization braiteora agus teicneolaíocht sliseanna

Is micrea-chóras nó feiste é an córas micrea-leictrimheicniúil (MEMS) a chomhtháthaíonn micrea-mheicníochtaí, micrea-bhraiteoirí, micrea-ghníomhaithe, ciorcaid rialaithe, próiseáil comhartha, cumarsáid, comhéadain, soláthairtí cumhachta, etc. Is teicneolaíocht é chun ábhair micro/Nano a dhearadh, a phróiseáil, a thomhas agus a rialú.

Áirítear le teicneolaíocht MEMS: Teicneolaíocht micreamachining sileacain, eitseáil ian imoibríoch dhomhain, teicneolaíocht Liga, teicneolaíocht tionóil mhóilíneach, micreascóideacht mórchóir, micromachining dromchla, micreashuíomh léasair agus teicneolaíocht micrea-phacáistithe.

Is é teicneolaíocht micrea -chineála Silicon an teicneolaíocht phríomhshrutha de chuid MEMS. Is teicneolaíocht phróiseála tríthoiseach beacht í. Is teicneolaíocht í chun braiteoirí, micrea-actuators, micrea-actuators, agus córais micrea-mheicniúla a fhorbairt. Baineadh úsáid rathúil as chun micrea-bhraiteoirí éagsúla agus eagair eilimintí íogaire ilfheidhmeacha a mhonarú. Ar nós braiteoirí capacitive micrea-silicon, braiteoirí maise micrea-silicon, braiteoirí dinimiciúla agus micrea-bhíograif le haghaidh braiteoirí aeraspáis, brú na ngluaisteán agus luasghéarú, braiteoirí micrea-cheimiceacha um chosaint chomhshaoil, etc.

Teicneolaíocht chomhtháthaithe eagair braiteora agus comhdhúile paraiméadair il-braite

Tagraíonn comhtháthú do chomhtháthú ilfheidhmeanna braite le próiseáil sonraí, stóráil, cumarsáid dhá bhealach, etc. amhail brú, brú statach, braiteoir trí-athraitheach teochta; brú aeir, fórsa gaoithe, teocht, taise braiteoir ceithre athraitheach; Braiteoir brú ilchodach micrea -sileacain agus braiteoir eagar, etc., úsáideann gach ceann acu teicneolaíocht chomhtháthaithe. Próiseas comhtháthaithe agus microstruchtúr ilchodach il-athraitheach próiseas monaraíochta comhtháite, amhail brú, brú statach, braiteoir teochta trí ath-ghlana, brú aeir, fórsa gaoithe, teocht, taise braiteoir ceithre ath-athraitheach, braiteoir brú ilchodach micrea-sileacain, braiteoir eagar.

Tá dhá chineál comhtháthaithe braiteora ann: ceann amháin is ea modúil il-bhraiteora a thógáil ar shlis trí theicneolaíocht micrea-mheaisínithe chun braiteoir líneach a chruthú (mar shampla braiteoir íomhá CCD); Is é an ceann eile comhpháirteanna íogaire a dhéanamh le feidhmeanna difriúla ar an tslis sileacain chéanna chun braiteoir ilfheidhmeach comhtháite a dhéanamh le comhtháthú ard, méid beag, agus cúiteamh agus ceartú éasca.