Na príomhbhuntáistí a bhaineann le próiseas sputtering maighnéadrón airgeadaithe i bhfolús

Na príomhbhuntáistí a bhaineann le próiseas sputtering maighnéadrón airgeadaithe i bhfolús

 

Is é an buntáiste is mó a bhaineann leis an bpróiseas sputtering magnetron ná gur féidir próisis sciath imoibríocha nó neamh-imoibríocha a úsáid chun sraitheanna na n-ábhar seo a thaisceadh le rialú maith ar chomhdhéanamh ciseal, tiús scannáin, aonfhoirmeacht tiús scannáin, agus airíonna meicniúla scannáin, etc.

An réiteach ar an nimhiú sprioc plating airgid bhfolús

 

(1) Úsáid soláthar cumhachta minicíochta idirmheánach nó soláthar cumhachta minicíochta raidió.

 

(2) Glacadh le lúb dúnta chun méid an gháis imoibrithe a thugtar isteach a rialú.

 

(3) Dhá sprioc a úsáid

 

(4) Rialú a dhéanamh ar chlaochlú an mhodha sciath: Roimh an sciath, bailigh an cuar éifeacht hysteresis de nimhiú sprice, ionas go mbeidh an sreabhadh aer ionghabhála á rialú ag tosaigh an sprioc-nimhiú, agus tá an próiseas i gcónaí sa mhodh roimh an taisceadh. titeann an ráta go géar.

Míniú fisiceach ar nimhiú spriocanna airgidphlátáilte i bhfolús

 

 

(1) Go ginearálta, tá an comhéifeacht astaithe leictreon tánaisteach de chomhdhúile miotail níos airde ná sin de mhiotail. Tar éis an sprioc a nimhiú, clúdaítear dromchla an sprioc le comhdhúile miotail. Tar éis a bheith bombardaithe ag hiain, méadaíonn líon na leictreon tánaisteach a scaoiltear, rud a fheabhsaíonn an éifeachtúlacht spáis. Laghdaíonn an cumas cas ar an impedance plasma, a eascraíonn i voltas sputtering níos ísle. Mar sin, laghdaítear an ráta sputtering. Go ginearálta, tá an voltas sputtering de magnetron sputtering idir 400V agus 600V. Nuair a tharlaíonn nimhiú sprioc, laghdófar an voltas sputtering go suntasach.

 

(2) Tá an ráta sputtering sprioc miotail agus sprioc cumaisc difriúil. Go ginearálta, tá an comhéifeacht sputtering miotail níos airde ná an cumaisc, agus mar sin tá an ráta sputtering íseal tar éis an sprioc a nimhiú.

 

(3) Tá éifeachtacht sputtering an gháis sputtering imoibríoch ó dhúchas níos ísle ná an gás támh, agus mar sin nuair a mhéadaíonn an cion den ghás imoibríoch, laghdaítear an ráta sputtering foriomlán.

Feiniméan nimhithe de sprioc plating airgid bhfolús

 

(1) Carnadh ian dearfach: Nuair a bhíonn an sprioc nimhithe, déantar scannán inslithe a fhoirmiú ar an spriocdhromchla. Nuair a shroicheann iain dhearfacha an spriocdhromchla catóide, mar gheall ar bhlocáil an chiseal inslithe, ní féidir leo dul isteach go díreach ar an spriocdhromchla catóide, ach carnann siad ar an spriocdhromchla, atá seans maith go fuar-réimse. Stua urscaoileadh stua-spreagtha ---, ionas nach féidir leis an sputtering catóide leanúint ar aghaidh.

 

(2) Imíonn anóid: Nuair a bhíonn an sprioc nimhithe, déantar scannán inslithe a thaisceadh freisin ar bhalla an tseomra folúis talún, agus ní féidir le leictreoin a shroicheann an anóid dul isteach san anóid, rud a fhágann go n-imíonn an anóid.

www.superbheater.com