Conas a Úsáidtear Téitheoirí PTFE chun Uisce Ultrapure a Théamh le haghaidh Glanadh Megasonach Wafer Leathsheoltóra?
Fág nóta
In -trealamh glantacháin megasonach amháin, glanann scaird uisce íonghlan, atá corraithe ag tonnta fuaime ardmhinicíochta, dromchla sliseog sileacain ag an leibhéal micreascópach. Caithfidh an téitheoir deireanach a ardaíonn an t-uisce seo go dtí an teocht nós imeachta cruinn ceart sula mbuaileann sé an wafer a bheith ina dhaingne íonachta, iomlán. Ag an gcéim seo, is féidir le haon éilliú miotalach nó scaoileadh cáithníní baisc iomlán de mhicrishliseanna sofaisticiúla a dhéanamh gan luach.
Cén Fáth Tá Ábhair Teochta i Glanadh Megasonic
Táirgeann glanadh megasonach (0.8 go 2 MHz go hiondúil) cuasaíocht agus sruthú fuaimiúil chun cáithníní fo-mhicriméadar a bhaint de dhromchlaí sliseog. Braitheann éifeachtúlacht glantacháin go mór ar theocht agus de ghnáth coinnítear an t-uisce ultrapure sreabhán próisis idir 25 céim agus 60 céim. Méadaíonn rialú teochta mín éifeachtúlacht bhaint na gcáithníní gan cur isteach ar struchtúir gléas íogair.
Tá an t-uisce a úsáidtear sa nós imeachta seo ultrapure, le friotaíocht 18 megaohm-ceintiméadar (MΩ{{{}}}cm) agus tá sé ar cheann de na sreabháin thionsclaíocha is íonaí a cruthaíodh riamh. Déanfaidh leibhéil bheaga éillithe ianach meath ar an bhfriotaíocht, rud a léiríonn teip ar an slabhra íonúcháin.
Cén fáth a bhfuil Téitheoir PTFE Tábhachtach
Go praiticiúil déantar an t-uisce ultrapure a théamh inlíne ag tumthéitheoir bídeach a mhonaraítear go hiomlán as PTFE (polytetrafluoroethylene) nó PFA (sárfhluaraalcocsa). Is é an bacainn dheireanach íonachta sula dtéann an t-uisce i dteagmháil le dromchla sileacain ná an téitheoir. Tá roinnt gnéithe bunúsacha ag PTFE a fhágann go bhfuil sé thar a bheith oiriúnach don ról seo:
Láisteadh ian Miotail nialasach - Níl aon pháirteanna miotail ag téitheoir PTFE i dteagmháil leis an sruth sreabhán (murab ionann agus téitheoirí miotail, fiú iad siúd a úsáideann cruach dhosmálta nó tíotáiniam). Laghdódh na hiain miotail cosúil le iarann, copar, sóidiam nó cailciam an friotachas uisce go tapa, agus níos tábhachtaí fós, taisceadh ar an dromchla wafer. Cruthaíonn taiscí den sórt sin "lochtanna marú" as a dtagann ciorcaid ghearr, sláine laghdaithe ocsaíd geata nó teip tubaisteach sliseanna. Ní astaíonn an téitheoir PTFE iain agus mar sin coinnítear íonacht an uisce ultrapure go dtí na teorainneacha braite páirteanna-in aghaidh-trilliún.
Is ábhar mór imní é foirmiú na gcáithníní freisin. D'fhéadfadh dromchla teasa garbh nó póiriúil boilgeoga beaga a ghabháil nó cáithníní a chaitheamh isteach sa sruth sreafa. Soláthraíonn comhéifeacht bhunúsach íseal frithchuimilte PTFE agus airíonna neamhghreamaithe dromchla fliuchta an-réidh, neamh-scagach. Cuireann sé seo cosc ar cháithníní greamú agus ansin scamhadh as, ag cothabháil an dlús lochta atá gar do nialas a theastaíonn le haghaidh déantús leathsheoltóra nód fo-10nm.
Insliú leictreach - Táirgeann an trasduchtóir megasonach réimsí fuaimiúla ard-déine ar cheart iad a leithlisiú go leictreach ón sreabhán. Soláthraíonn PTFE neart tréleictreach ard, rud a stopann aon sruth sceite nó trasnaíocht leictreach idir an téitheoir agus an córas trasducer íogair. Seachnaíonn sé seo cur isteach ar an tarchur fuinnimh fuaimiúil agus ráthaíonn sé feidhmíocht ghlantacháin chomhsheasmhach.
Comhtháthú in uirlisí glantacháin sliseog amháin
Ní mór an cainéal sreabhadh fliuchtaithe ón téitheoir go dtí an nozzle a bheith déanta as fluarapolaiméir ardíonachta (PTFE, PFA nó PVDF). Aon pháirt mhiotail - comhla, feistiú nó feadánra - thabharfadh sé an t-éilliú a bhí beartaithe don téitheoir a sheachaint arís. Is minic a sholáthraítear an téitheoir PTFE mar aonad beag bídeach inlíne, go minic le braiteoir teochta comhtháite agus lúb rialaithe stáit soladach, ag tairiscint freagra tapa agus cobhsaíocht teochta cruinn.
Nóta Próisis: Suiteáil agus Postáil a Fhliuchadh-
Tar éis a shuiteáil, ní mór aon téitheoir PTFE nua nó páirteanna fluoropolymer gaolmhara a bheith faoi réir oibríocht glantacháin agus pasivation críochnúil. Cé nach ndéanann PTFE éighníomhach go ceimiceach sa chiall mhiotalacha, ní mór an córas a shruthlú le méideanna ollmhóra uisce ultrapure, go minic ar feadh 24 go 48 uair an chloig, chun aon deannach déantúsaíochta atá fágtha, gníomhairí scaoileadh múnla a bhaint nó comhpháirteanna orgánacha a rianú ón dromchla polaiméire. Luathaítear eastóscadh olaigiméir -mhóilíneach-ísealmheáchan{-fhluarapolaiméirí trí athshruthú i lúb téite. Ní dhéantar an uirlis a ghlanadh le haghaidh táirgeadh go dtí go bhfuil an fhriotaíocht ar ais ag 18 MΩ·cm agus go bhfuil comhaireamh na gcáithníní faoi bhun teorainneacha sonraíochta.
Conclúid: Cumasóir dofheicthe, ciúin na déantúsaíochta sliseanna chun cinn
Níorbh fhéidir na billiún sceallóga trasraitheora den domhan atá ann faoi láthair a thógáil gan aon locht cáithníneach marfach amháin más rud é nach raibh sé don chomhpháirtí teirmeach ciúin, neamhbhraite agus breá íon ar a dtugtar an téitheoir PTFE. Soláthraíonn an comhpháirt seo freisin foinse iontaofa uisce ultrapure téite go cruinn, saor ó éilliú ianach agus doirteadh cáithníní, rud a chuireann ar chumas é a reáchtáil ar feadh na mílte uair an chloig gan cur isteach ar an bpróiseas glantacháin megasonic. Tharlaíonn sé go bhfuil an teicneolaíocht is sofaisticiúla bunaithe ar na hábhair is pristine, agus is beag cásanna atá níos láidre ná úsáid uisce ultrapure leathsheoltóra leathsheoltóra glantacháin PTFE i bhfabs is nua-aimseartha an lae inniu.








