Conas a Deimhnítear Plátaí Téimh chun Caighdeáin SEMI a Chomhlíonadh do Threalamh Déantúsaíochta Leathsheoltóra?
Fág nóta
Éilíonn monarú leathsheoltóirí glaineacht agus íonacht mhór na n-ábhar. Caithfidh na plátaí téimh a úsáidtear i dtrealamh próiseála sliseog freastal ar chritéir an-dian SEMI a théann i bhfad níos faide ná sábháilteacht bhunúsach leictreach lena n-áirítear eisghású, táirgeadh cáithníní agus comhoiriúnacht ábhar.
Cad iad Caighdeáin SEMI
Is comhlachas trádála idirnáisiúnta é SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) a chruthaíonn caighdeáin chun cáilíocht, sábháilteacht agus comhoiriúnacht comhshaoil trealamh táirgeachta leathsheoltóra a chinntiú. Tá na critéir seo riachtanach le haghaidh glaineachta agus feidhmíochta a theastaíonn i monarú leathsheoltóra. Cuimsíonn caighdeáin SEMI raon leathan ábhar lena n-áirítear sábháilteacht trealaimh (S2), comhoiriúnacht chomhshaoil (S8) agus ceanglais shonracha ábhair. Nuair a thagann sé le plátaí téimh ciallaíonn comhlíonadh SEMI go gcomhlíonann siad na caighdeáin arda íonachta a theastaíonn le haghaidh táirgeadh leathsheoltóra.
Eochair Caighdeáin SEMI le haghaidh Plátaí Téitheoir
SEMI S2 - Sábháilteacht trealaimh
Bunaítear le SEMI S2 rialacha sábháilteachta ginearálta maidir le trealamh leathsheoltóra chun a chinntiú go bhfuil na plátaí téimh sábháilte le húsáid i dtimpeallacht déantúsaíochta. .Tá comhlíonadh SEMI S2 bailíochtaithe ag measúnú tríú páirtí arna dhéanamh ag meastóir SEMI S2 deimhnithe. Clúdaíonn an caighdeán sábháilteacht leictreach, sláine meicniúil agus oibriú ginearálta an trealaimh.
SEMI S3 - Treoirlínte Sábháilteachta le haghaidh Folcadáin Cheimiceacha Téite
Baineann SEMI S3 le sábháilteacht trealaimh i bhfolcadáin cheimiceacha téite. Ráthaíonn an caighdeán seo nach mbíonn rioscaí sábháilteachta ná neamhéifeachtúlachtaí oibríochtúla ag baint le plátaí téimh a úsáidtear i gcórais phróiseála ceimiceacha. Áiríonn sé freisin ábhair agus struchtúr chun éilliú ag an tuaslagán ceimiceach te a sheachaint.
SEMI F57 - Sonraíocht d'Ábhair Pholaiméire i gCórais Cheimiceacha Uath-ghlana Uisce agus Leachtacha
Sainmhíníonn SEMI F57 na caighdeáin le haghaidh ábhar polaiméire, lena n-áirítear bratuithe ar phlátaí téimh, i dteagmháil le huisce ultra íon agus ceimiceáin leachtacha. Cinntíonn an caighdeán seo go bhfuil na hábhair a úsáidtear i dtrealamh táirgthe leathsheoltóra comhoiriúnach le sreabháin ultra-agus nach mbíonn tionchar acu ar íonacht an phróisis.
Caighdeáin Deimhnithe do Phlátaí Téimh
Ní mór plátaí téimh i dtrealamh leathsheoltóra a thástáil go dian de réir caighdeáin SEMI. Baineann na tástálacha seo le cáilíochtaí ábhar, friotaíocht éillithe agus comhoiriúnacht cheimiceach:
Amach (ASTM E 595)
Is éard is outgassing ann ná astú ceimiceán so-ghalaithe ó ábhair an phláta téimh ar théamh. I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, is féidir lochtanna i bhfeistí leathsheoltóra a bheith mar thoradh ar éilliú i dtimpeallacht an tseomra ghlan fiú ó leibhéil bídeacha de ghású. Ní mór plátaí téimh atá déanta as ábhair ar nós bratuithe PTFE agus PFA a thástáil le haghaidh eisgháis de réir cheanglais ASTM E595 chun a chinntiú nach scaoilfidh siad comhdhúile guaiseacha le linn oibriú.
Titim na gcáithníní-as
Ba cheart plátaí téimh a thógáil chun cruthú cáithníní a d’fhéadfadh an sliseog nó na hoibríochtaí ceimiceacha a éilliú a íoslaghdú. Ní mór aon ábhar a d'fhéadfadh dul i dteagmháil le sreabhán próisis a scrúdú chun a chinntiú nach gcaillfidh sé cáithníní go leibhéil a chuirfidh isteach ar na próisis déantúsaíochta íogair i bhfabs leathsheoltóra.
Friotaíocht in aghaidh Ceimiceán Próiseála
Is minic a bhíonn plátaí téimh i ndéantúsaíocht leathsheoltóra faoi réir substaintí naimhdeacha amhail aigéid, tuaslagóirí agus uisce ultrapure. Ní mór na hábhair seo a bheith resistant creimeadh agus resistant a díghrádú faoi imthosca uathúla an phróisis táirgthe leathsheoltóra. Úsáidtear bratuithe PTFE agus PFA go forleathan ar phlátaí téimh mar gheall ar a bhfriotaíocht cheimiceach níos fearr, ag cinntiú go gcoimeádtar sláine an dromchla téimh gan aon ábhar salaithe a thabhairt isteach.
Caighdeáin SEMI do Phlátaí Téite agus Chucks Caighdeáin Tábhachtacha SEMI S2 - Sábháilteacht Trealaimh (Ceanglais Ghinearálta Sábháilteachta)
SEMI S3 - Treoirlínte Sábháilteachta do Théitheoir Folcadáin Ceimiceacha
SEMI F57 - Sonraíocht d'Ábhair Pholaiméir i gCórais Uisce Ultra-Fhíona agus Cheimiceach Leachtacha
Modh Tástála Outgassing ASTM E595
SEMI F47 – Cleachtais Molta do Threalamh Déantúsaíochta Leathsheoltóra
Conclúid
Is caighdeán é SEMI nach mór do phlátaí téimh a úsáidtear i dtrealamh leathsheoltóra caighdeáin íonachta agus sábháilteachta an tionscail leathsheoltóra a chomhlíonadh. Deimhnítear plátaí téimh saor ó éilliú miotail, íoslaghdaítear sceitheadh na gcáithníní agus comhlíonann siad rialacháin eisgháis chun an próiseas táirgthe leathsheoltóra a chosaint. Tá a gcuid sainchaighdeáin féin á bhforbairt ag earnálacha nideoige chun a gcuid riachtanas teicniúil ar leith a chomhlíonadh. Cinntíonn comhlíonadh na gcaighdeán sin go gcomhlíonann an trealamh ceanglais dhian, ardfheidhmíochta an tionscail leathsheoltóra.
