An gcuireann Úsáid Córas Séalaithe Fáinne Dúbailte O- ar an Flange Gléasta deireadh le Sceitheadh i dTéitheoirí PFA d'Fheidhmchláir Fholúis Ard- (0.01 mbar)?
Fág nóta
De bharr dul i bhfód tríd an leaistiméire agus micreasceitheadh ag an teagmhálaí, uaireanta ní leor séala fáinne O- amháin ar fheire gléasta téitheoir PFA le haghaidh feidhmchláir ardfholús a dteastaíonn brúnna chomh híseal le 0.01 mbar (barra 10⁻¹). Is féidir rátaí sceite a ísliú ó 10⁻³–10⁻² mbar·L/s (séala singil) go 10⁻◦–10⁻² mbar·L/s (inghlactha don chuid is mó d’fheidhmchláir folúis arda) le córas séalaithe dúbailte O{-dhábailte “pum sealaithe” le folúsphort idirmheánach. Baineann caidéal folúis aon ghás a shileann thar an gcéad fháinne O sular féidir leis an dara fáinne O a bhaint amach, rud a chruthaíonn toirt chosanta. Tá feire -séalaithe miotail (cineál ConFlat) riachtanach do na leibhéil folúis is airde (10⁻² mbar agus thíos). Is laghdú suntasach é an dá chóras fáinne O seachas díothú iomlán. Maidir le folús meánach go hard (10⁻³ go 10⁻◦ mbar), oibríonn sé go maith. Ní údaraítear an chastacht bhreise do théitheoirí PFA ach amháin nuair a bhíonn rátaí sceite níos lú ná 10⁻² mbar·L/s.
Bealaí Sceitheadh agus an Mheicníocht Séala Dúbailte
Fágann trí chonair sceitheadh i bhfáinne amháin O-séala (Viton nó FFKM): (1) tréscaoileadh gáis tríd an leaistiméire (10⁻³–10⁻³ mbar·L/s in aghaidh an cm d’fhad séala); (2) micreachainéil ag an gcomhéadan flange O-fáinne{-(10⁻◦–10⁻³ mbar·L/s le haghaidh fean 100 mm); agus (3) an comhéadan miotail PFA é féin (an truaill téitheoir ag dul tríd an bhfeire). De ghnáth, féadfaidh séala aonair ráta sceite 10⁻³–10⁻² mbar·L/s a bhaint amach, atá ró-ard le haghaidh folús ard.
Cuirtear fáinne O-dara agus folúsphort leis i gcóras fáinne cúpla O{-. Aslonnaítear an t-achar idir na fáinní O le caidéal cúnta beag bídeach. Déantar aon ghás a thiteann thar an gcéad fháinne O a phumpáil amach láithreach agus ní thagann sé go dtí an dara fáinne riamh. Is é an táirge de (ráta sceite an chéad róin) × (ráta sceite an dara séala) / (luas pumpála) an ráta sceite éifeachtach. Tá rátaí sceite idir 10⁻² agus 10⁻² mbar·L/s indéanta go praiticiúil.
Comparáid idir Rátaí Sceite le haghaidh Flanges Téitheoir PFA 50 mm
Ábhair, Cumraíocht Séala, Ráta Sceithe Inghnóthaithe (mbar·L/s), Leibhéal Folúis Cuí, agus Méadú Costais (%)
Singil comhbhrúite O-fáinne FKM 10⁻³–10⁻¹ 1–10 mbar (folús garbh) 0%
Fáinne singil O-(FFKM, Kalrez) FFKM 10⁻◦–10⁻¹ 0.1–1 mbar +10%
FKM + ramhar 10⁻◦–10⁻◦ 0.01–0.1 mbar + 15 % singil O-fáinne O-single le séaltóir groove (ramhar folúis)
O-fáinne dúbailte neamhphumpáilte FKM + FKM 10⁻²–10⁻◦ 0.1–1 mbar + 20%
Fáinne O-dúbailte (pumpáilte, caidéal garbh) FKM + FKM 10⁻◦–10⁻¹ mbar +35%
Fáinne O-dúbailte (pumpáilte, turbochaidéal) FFKM + FFKM 10⁻²–10⁻◦ mbar +50%
Séala miotail (gasket copair, ConFlat)Alúmanam nó copar<10⁻¹ +100% Extremely high vacuum
PFA táthaithe go flange miotail<10⁻¹ (through PFA) Welded PFA-to-metal transition (hermetic)PFA permeation limit of +200%
Suiteáil Téitheoir PFA Go praiticiúil
Chun seala fáinne dúbailte O-do -dleacht fholús ard a shuiteáil ar fheire téitheoir PFA:
Dearadh flange: Ní mór go mbeadh dhá groove comhlárnacha O{-fháinne comhlárnacha atá 15–25 mm óna chéile ag taobh umar an fheire PFA. Tá port (1/4 orlach nó 6 mm) sa spás idir na fáinní O atá ceangailte le caidéal folúis (eiteán rothlach, 10⁻² mbar).
O-ábhar fáinne: Le haghaidh comhoiriúnacht cheimiceach le meáin naimhdeacha, úsáid FFKM (Kalrez, Chemraz). Maidir le gal neamh-ionsaitheach, tá FKM (Viton) oiriúnach.
Casmhóiminte: Chun fáinní O a chomhbhrú faoi 20–25% dá dtrastomhas trasghearrtha, déan boltaí feire níos doichte go haonfhoirmeach i bpatrún réalta.
Pumpáil: Le linn na hoibríochta, is gá an toirt idir-rónta a phumpáil go leanúnach. Is leor folúschaidéal beag speisialaithe a bheith ann (10 L/nim).
Truaill téitheoir: Bealach sceite féideartha eile is ea an PFA-go-pointe scoir an chroímhiotail ag an bhfoirceann fuar. Bain úsáid as séala bellows déanta as miotal táthaithe nó overmold silicone (féach Airteagal #87).
Sampla sa Réimse
Bhí téitheoir PFA ag teastáil chun seomra taighde leathsheoltóra a choinneáil ag 80 céim ag folús ard (10⁻¹ mbar). Ghin sceitheadh timpeall fheire an téitheoir spící brú (10⁻³ mbar) ag baint úsáide as séala fáinne O- amháin. In ionad an tsocraithe roimhe seo, suiteáladh séala fáinne dúbailte O{-pumpáilte (dhá fháinne FKM O{{{{{}}) le port idirmheánach nasctha le caidéal beag bídeach diaphragm). Ar feadh sé mhí, d'fhan brú an tseomra seasta ag 2×10⁻◦ mbar. Baineadh roinnt ritheanna sil-leagan leis an téitheoir. Tháinig costas breise $500 ar an uasghrádú caidéil agus feansaí.
Srianta an PFA ar Fholúis Ard
Fiú agus é ina saothraítear rónta gan smál, is gás-tréscaoilteach agus sárgháis é an truaill PFA féin, rud a scaoileann uisce ionsúite agus tuaslagóirí atá fágtha. Cuirfidh eisghabháil ón PFA teorainn leis an mbrú cúlra ag brúnna faoi bhun 10⁻² mbar (10⁻◦–10⁻² mbar de ghnáth). Beag beann ar shéalú, ní féidir PFA a úsáid i bhfolús ultra-(UHV,<10⁻¹ mbar). PFA with a double O-ring seal is suitable for medium to high vacuum (10⁻³ to 10⁻◦ mbar).
Mar fhocal scoir, laghdaítear sceitheadh go 10⁻²–10⁻² mbar·L/s le fáinne dúbailte O{-agus caidéalaithe.
Laghdaítear rátaí sceite ó 10⁻³–10⁻² mbar·L/s (séala aonair) go 10⁻◦–10⁻/s (séala aonair) go dtí 10⁻◦–10⁻/s síos le haghaidh feidhmchláir arda go dtí 10⁻³–10⁻² mbar·L/s (séala aonair) go laghdaítear na rátaí sceite ó 10⁻³–10⁻² mbar·L/s (séala aonair) go dtí 10⁻◦–10⁻/s síos d'fheidhmchláir ardleibhéil má dhéantar córas séalaithe dúbailte O-ar fheire gléasta téitheoir PFA, agus toirt an tséala idir-aslonnaithe ag caidéal 0.01 mbar (barra 10⁻¹). Don chuid is mó de nósanna imeachta meánacha agus ard-folúis, is leor é seo. Cé go laghdaítear sceitheadh idir dhá nó ceithre ordú méide, ní dhéantar é a dhíchur go hiomlán ag an teicneolaíocht. Ba cheart séalú miotail nó trasdulta miotail PFA go heirméiteach a mheas i gcás brúnna níos lú ná 10⁻◦ mbar. I gcás oighinn bhfolús, seomraí brataithe, agus córais degassing, is rogha eile inoibrithe é an séala dúbailte. Athraíonn sé flange trioblóideach ina bhac iontaofa. Beagnach flawless, ach ní go leor. Is leor é d’fhormhór na-riachtanais arda folúis.
