An féidir foirnéisí feadán a úsáid le haghaidh próiseas CVD? An anailís dhoimhneachta i - ar a bhféidearthacht, a dteorainneacha agus a réitigh ghairmiúla

Is teicneolaíocht sil -leagain tanaí scannán é Sil -leagan gaile ceimiceach (CVD) i réimsí amhail eolaíocht ábhar agus taighde leathsheoltóra. Tá an -tóir ar fhoirnéisí feadáin, mar ard -threalamh teasa teochta ard - mar gheall ar a struchtúr simplí, a n -éascaíocht oibríochta, agus aonfhoirmeacht teochta den scoth. Ceist a chuirtear go minic ná: An féidir ár bhfoirnéisí feadán atá ann cheana féin a úsáid inár saotharlanna go díreach le haghaidh turgnaimh CVD?

Is é an freagra ná: tá, ach le teorainneacha dochta. Cé gur féidir le foirnéisí caighdeánacha feadán feidhmeanna bunúsacha CVD a dhéanamh le modhnuithe agus cumraíochtaí sonracha, tá siad difriúil go mór ó chórais ghairmiúla CVD.

I. Prionsabail bhunúsacha agus coinníollacha riachtanacha le haghaidh feidhmiúlacht CVD foirnéise feadán
Tá croílár na teicneolaíochta CVD suite in imoibriú ceimiceach réamhtheachtaithe (gáis imoibrí) laistigh de chrios imoibriúcháin teochta ard -, ag cruthú taisce soladach ar dhromchla an tsubstráit. Soláthraíonn foirnéisí feadán timpeallacht teochta séalaithe, inrialaithe, ard -, ag cruthú na gcoinníollacha riachtanacha le haghaidh imoibrithe CVD.

Mar sin féin, chun go mbeidh foirnéis chaighdeánach feadán inniúil ar CVD, ní mór roinnt príomhriachtanais a chomhlíonadh:

Modhnú an Chórais Gáis: Is é seo an modhnú is criticiúla. Is féidir go mbeidh ionraoin gháis amháin agus asraon gáis amháin ag foirnéis chaighdeánach feadán. Éilíonn turgnaimh CVD rialú beacht ar rátaí sreafa agus cóimheasa na ngás il -imoibrí agus gáis iompróra (mar AR agus N₂). Dá bhrí sin, tá rialtóir sreafa maise (MFC) agus tacú le píobaireacht gháis riachtanach chun seachadadh gáis seasmhach agus cruinn a chinntiú.

Fholús agus Séalaithe: Teastaíonn brúnna ísle nó sonracha ó go leor imoibrithe CVD chun eisíontais a sheachaint agus chun cáilíocht an scannáin a chinntiú. Éilíonn foirnéisí feadán córas folúis ardfheidhmíochta - (mar shampla caidéal meicniúil), agus caithfidh na rónta flange ag an dá cheann den fheadán foirnéise a bheith thar a bheith iontaofa chun cosc ​​a chur ar chúl -sreabhadh aeir.

Córas Cóireála Gáis Sceite: D'fhéadfadh comhpháirteanna tocsaineacha, creimneacha, nó inadhainte agus pléascacha a bheith i ngáis sceite CVD (mar shampla silane agus clóiríd hidrigine neamhghníomhach). Tá trealamh cóireála gáis sceite (mar shampla sciúradh gáis nó túr dócháin) riachtanach chun sábháilteacht thurgnamhach agus cosaint an chomhshaoil ​​a chinntiú.

Sealbhóir Samplach agus Dearadh Air -Sreabhadh cuí: Tá gá le sealbhóir samplach tiomnaithe chun a chinntiú go bhfuil an tsubstráit sa sreabhadh gáis imoibreora is fearr le haghaidh sil -leagan scannán aonfhoirmeach.

Ii. Teorainneacha Turgnaimh CVD Foirnéise Tube
Cé gur féidir na feidhmeanna seo a bhaint amach tar éis an mhodhnaithe, tá teorainneacha bunúsacha ag baint le foirnéis feadán le haghaidh CVD:

Deacracht maidir le haonfhoirmeacht scannáin a rialú: is iondúil go n -úsáideann foirnéisí feadáin téamh statach, agus idirleata na ngás imoibreora laistigh den fheadán fada foirnéise. Féadann sé seo grádáin teochta, brú, agus tiúchana gáis a bheith mar thoradh air seo ag an ionraoin agus asraon foirnéise, ag dul i bhfeidhm ar thiús scannán agus ar aonfhoirmeacht comhdhéanamh.

Coimpléascacht an phróisis theoranta: il -il - Tá sé deacair próisis chéime amhail rampáil tapa teochta (RTP) agus CVD pulsed (CVD Pulsed) a chur i bhfeidhm.

Dúshláin sábháilteachta: Maidir le réamhtheachtaithe an -imoibríocha agus guaiseacha (mar shampla silane), is iondúil go mbíonn leibhéal cosanta sábháilteachta córas foirnéise feadáin níos lú ná an leibhéal trealaimh tiomnaithe CVD.

Éifeachtúlacht sil -leagan íseal: Mar gheall ar an limistéar imoibriúcháin mór, d'fhéadfadh úsáid réamhtheachtaithe a bheith íseal.

Iii. Foirnéis Tube CVD vs Trealamh CVD tiomnaithe: Conas a roghnú? Gnéithe: Foirnéis feadán modhnaithe, trealamh gairmiúil CVD.
Oiriúnach do: taighde bunúsach, taispeántais teagaisc, sil -leagan simplí le riachtanais aonfhoirmeachta scannáin íseal; Táirgeadh Tionsclaíoch, Ard - Forbairt Scannán Feidhmíochta, agus feidhmchláir le riachtanais an -ard aonfhoirmeachta agus íonachta.
Costas: réasúnta íseal (modhnú ar an trealamh atá ann cheana); Ard.
Solúbthacht: Foirnéis Chuspóir, Il -Il - (is féidir é a úsáid freisin chun anáil, sintéiriú, etc.).
Sainiúlacht: Optamaithe go mór le haghaidh próiseas sonrach.
Cruinneas Rialaithe Próisis: Meán; Beachtas ard, le brú ard, teocht, agus rialú sreafa gáis.
Cáilíocht Scannán: Teoranta; Sármhaith agus cobhsaí.